Forno Lab 1200C PECVD con tubo al quarzo e sistema sottovuoto

L' introduzione dell'apparecchiatura:  Questa apparecchiatura ionizza un gas contenente un atomo costituente una pellicola mediante radiofrequenza, ecc., e forma localmente un plasma. Il plasma è chimicamente attivo e reagisce facilmente, e una pellicola desiderata viene depositata sul substrato. Per consentire alla reazione chimica di procedere a una temperatura inferiore, l'attività del plasma viene utilizzata per promuovere la reazione, e quindi la CVD è chiamata deposizione chimica da vapore potenziata dal plasma (PECVD).

Descrizione del prodotto:  Questa apparecchiatura è un sistema PECVD a zona singola a temperatura fissa, che include un  forno tubolare a due zone di temperatura D 6 0x1 0 00L mm , una fonte di alimentazione RF al plasma da 500 W,  un sistema di alimentazione dell'aria a flusso di massa a 3 canali e un'unità del vuoto.

I componenti principali del sistema e le caratteristiche:

L'apparecchiatura è composta principalmente da un corpo tubolare del forno di riscaldamento, un sistema a vuoto, un sistema di alimentazione di gas a flusso protonico, una sorgente di plasma a radiofrequenza, una camera di reazione al quarzo e simili.

Caratteristica principale:

1. Il gas nella camera a vuoto di quarzo viene trasformato in uno stato ionico da una sorgente di alimentazione a radiofrequenza.

2. La temperatura richiesta affinché la PECVD esegua la deposizione chimica da vapore è inferiore a quella della normale CVD.

3. Lo stress del film depositato può essere controllato dalla frequenza della sorgente di alimentazione RF.

4. PECVD ha un tasso di deposizione di vapore chimico più elevato, uniformità, consistenza e stabilità rispetto al normale CVD.

5. Ampiamente utilizzato: l'apparecchiatura può depositare SiOx, SiNx, silicio amorfo, silicio microcristallino, nanosilicio, SiC, simil-diamante e altri film sulla superficie di fogli o campioni di forma simile e può depositare tipo p, n- tipo doping Film vari. Il film depositato presenta buona uniformità, compattezza, adesione ed isolamento. Ampiamente usato in utensili da taglio, stampi ad alta precisione, rivestimenti duri, decorazioni di fascia alta e altri campi.

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