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Lab DC o RF High Vacuum Magnetron Ion Sputtering Coating
Rivestitore
introduzione
High Vacuum Magnetron Ion Sputtering Coater è ideale e progettato per la scienza dei materiali e la preparazione dei campioni. È ampiamente utilizzato per la maggior parte delle università e degli istituti di ricerca scientifica di scienza e ingegneria dei materiali per rivestire, per metalli, ceramiche, semiconduttori, isolanti o altri tipi di preparazione del materiale della membrana.
High Vacuum Magnetron Ion Sputtering Coater fornisce l'ambiente di sputtering più stabile e raggiunge le condizioni sperimentali di base dello sputtering di magnetron in un periodo di tempo molto breve. Fornisce DC / RF due tipi di opzioni di alimentazione sputtering che consentono lo sputtering di sostanze conduttive o non conduttive sul campione e migliorano le prestazioni di deposizione fisica da vapore (PVD). È anche eccellente per il trattamento superficiale e il rivestimento. È facile da usare e anche facile da usare.
Pompa del vuoto e refrigeratore sono inclusi.
Parametro
| Gruppo pompa per vuoto _ |
( necessario olio ) pompa per vuoto rotativa + ( o il free ) gruppo pompa turbomolecolare |
| Velocità di pompaggio rotativo _ |
50 Hz: 16 m³ / h (4,4 L/s)/ 60 Hz: 19,2 m³ /h (5,2 L/s) |
| Velocità di pompaggio molecolare _ |
300 litri/ sec |
| Limite di vuoto |
5x10 -5 Pa |
| Pressione di esercizio |
0,5-5 Pa |
| Passare l' aspirapolvere |
>10 min(10 -3 Pa) |
| Misuratore di vuoto |
Campo di misura dall'atmosfera a 1*10 Pa |
| Controllo del gas |
Regolatore flusso gas _ _ |
| Dimensioni della camera |
φ260*200mm (altezza) m etallo |
| Sorgente bersaglio Magnetron _ _ |
Dimensione target φ 50 *3mm(Cu)/ fonte target : sostanza magnetica debole / m ateriali |
| M etodo operativo |
Manuale di istruzioni l |
| Peso / taglia |
100 kg/610 mm di lunghezza x 420 mm di larghezza x 490 mm di altezza |
| Alimentazione _ _ |
CA 110 V 60 Hz o CA 220 V 50 Hz |
| Consumo energetico _ |
<3000W |
| M etodo di raffreddamento |
Raffreddamento ad aria ( pompa ) + raffreddamento ad acqua ( bersaglio polverizzazione ) |
| Garanzia |
Garanzia limitata di un anno con supporto del prodotto a vita |
IPv6 rete supportata 