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Lab Magnetron Sputtering Thermal Evaporation Coating
Coater per Scienze Geologiche e Film Sottile
introduzione
Magnetron Ion Sputtering Unit & Thermal Evaporation Carbon Coater è ideale e progettato per la preparazione di campioni SEM in laboratorio. Il modello SD900C (Magnetron Ion Sputtering Unit) è ampiamente utilizzato per rivestire campioni SEM non conduttivi o sensibili al calore con Au per una migliore imaging. È anche eccellente per il trattamento superficiale ed evita danni al campione di substrato.
Il rivestimento in carbonio modello SD900C (Thermal Evaporation Carbon Unit) applica una sottile pellicola di carbonio conduttivo su una superficie del campione. L'applicazione di questo rivestimento a un campione non conduttivo è una tecnica di preparazione efficace per diminuire gli artefatti degli elettroni di carica per l'analisi in un SEM.
La pressione del vuoto di lavoro può essere raggiunta rapidamente quando si utilizza una pompa del vuoto adeguata entro 5 minuti. È facile da usare e facile da usare.
La pompa del vuoto è inclusa.
Il refrigeratore è opzionale. (per l'unità di sputtering ionico Magnetron)
Parametro
| Gruppo pompa per vuoto _ |
( necessario olio ) pompa del vuoto rotativa _ |
| Velocità di pompaggio rotativo _ |
50 Hz : 8 m³ / h ( 2 . 2 L/s)/ 60 Hz : 9. 6 m³ / h ( 2 . 6 L/s) |
| Limite di vuoto |
2 pa |
| Corrente massima di sputtering |
100 mA |
| Corrente massima di evaporazione
|
100 A |
| Pressione di esercizio |
20 Pa - 8 Pa |
| Passare l' aspirapolvere |
<5 minuti ( 2 Pa) |
| Misuratore di vuoto |
Campo di misura dall'atmosfera a 2*10 -2 mbar |
| Controllo del gas |
Regolatore flusso gas _ _ |
| Dimensioni della camera |
Φ 15 0* 12 0mm (altezza) vetro al quarzo antigraffio |
| Sorgente bersaglio Magnetron _ _ |
Dimensione target φ 50* 0,1 mm( A u)/ sorgente target: Au,Ag,Pt |
| Sorgente bersaglio di evaporazione |
Materiale target: corda in carbonio / fonte target: corda in carbonio |
| M etodo operativo |
Manuale di istruzioni l |
| (2 unità) Peso / taglia |
55 kg/ 36 0 mm di lunghezza x 30 0 mm di larghezza x 38 0 mm di altezza |
| Alimentazione _ _ |
CA 110 V 60 Hz o CA 220 V 50 Hz |
| Consumo energetico _ |
< 20 00W |
| M etodo di raffreddamento |
Raffreddamento ad aria (evaporazione)+raffreddamento ad acqua (sputtering) |
| Garanzia |
Garanzia limitata di un anno con supporto del prodotto a vita |
IPv6 rete supportata 